真空箱氦質(zhì)譜檢漏儀在各個行業(yè)的應(yīng)用:
1.電子行業(yè)的應(yīng)用
微波發(fā)射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類傳感器、起博器。
2.真空行業(yè),儀器、儀表行業(yè)的應(yīng)用
管道、接頭、閥門、波紋管、各種真空泵、各類排氣機組、電鏡、質(zhì)譜儀、電子束離子速暴光機、激光軸分離器、高能加速器、醫(yī)用加速器、輻照加速器、鍍膜機、薄膜真空計。
3.核工業(yè)的應(yīng)用
鈾分離裝置、存儲裝置、核發(fā)電裝置。
4.制冷行業(yè)的應(yīng)用
冰箱、空調(diào)、溴化鋰制冷機組、汽車用空調(diào)、蒸發(fā)器、冷凝器、奪縮機、低溫儲槽。
5.不銹鋼保溫器皿的應(yīng)用
真空保溫杯、瓶、鍋、飯盒等。
真空箱氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴散檢漏。
逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。
這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比)即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設(shè)計的。